多晶硅石英坩堝的規(guī)定及其應用留意點
信息來源：本站 | 發(fā)布日期：
2019-10-31
| 瀏覽量：
關鍵詞：多晶硅石英坩堝規(guī)定
半導體材料級高純度多晶硅
石英坩堝是拉制大直經(jīng)單晶硅的消耗性容器，每生產(chǎn)制造一爐單晶硅就消耗掉一只鉗鍋。單晶硅是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的原料，對鉗鍋的規(guī)定嚴苛。
一般國際上對多晶硅石英坩堝的規(guī)定：材料務必是高純半導體材料級；耐熱性強；鉗鍋的規(guī)格大；高精度；隔熱保溫特性好；節(jié)約資源；產(chǎn)品品質(zhì)一致性好；可靠性高等學校特性。多晶硅石英坩堝在應用時要留意：
1．多晶硅石英坩堝可在1700度下列灼熱，但灼熱溫度高過1100度方解石會變?yōu)椴蝗该鳎蚨刍瘻囟炔豢沙?00度。
2、不可以和HF觸碰，高溫時，非常容易和苛性堿及堿土金屬的硫化物功效。
